簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="磨料加工"


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    線鋸切割太陽能基板之研究
    • 機械工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 梁峻碩 指導教授: 陳炤彰
    • 國際原油價格不斷高漲,替代性能源的研發愈顯重要,而太陽能為目前替代能源之研發重點項目之ㄧ,其主要之材料即為矽晶圓基板,目前生產矽晶圓基板之主要技術為多線式線鋸切割技術(multi-wire sawi…
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    原子力量測於化學機械拋光之磨料作用力分析研究
    • 機械工程系 /99/ 碩士
    • 研究生: 黃國維 指導教授: 陳炤彰
    • 在半導體元件製程應用上,化學機械拋光(Chemical Mechanical Polishing, CMP)為其重要製程之一,它透過研磨墊、漿粒、晶圓三者間彼此交互作用,使晶圓達到平坦化之效果以利後…
    • 點閱:207下載:8
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